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泰州市燎原機(jī)械制造有限公司

陽(yáng)江新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù),尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。

背景技術(shù):

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送,在傳送的過(guò)程中,傳送精度越高,設(shè)備工藝一致性就越好,速度越快,單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜,對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來(lái)越高,這就需要一種定位精度高,速度快的多自由度的機(jī)械手。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,維護(hù)方便,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

所述鋁合金平板下表面通過(guò)金屬箔片密封其真空腔體。陽(yáng)江新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家

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控制策略對(duì)柔性機(jī)械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理。完全忽略結(jié)構(gòu)的彈性變形對(duì)結(jié)構(gòu)剛體運(yùn)動(dòng)的影響。例如為了避免過(guò)大的彈性變形破壞柔性機(jī)械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運(yùn)動(dòng)的比較大角速度為。2)前饋補(bǔ)償法。將機(jī)械臂柔性變形形成的機(jī)械振動(dòng)看成是對(duì)剛性運(yùn)動(dòng)的確定性干擾而采用前饋補(bǔ)償?shù)霓k法來(lái)抵消這種干擾。德國(guó)的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關(guān)節(jié)的工業(yè)機(jī)器人的前饋控制。張鐵民研究了基于利用增加零點(diǎn)來(lái)消除系統(tǒng)的主導(dǎo)極點(diǎn)和系統(tǒng)不穩(wěn)定的方法設(shè)計(jì)了具有時(shí)間延時(shí)的前饋控制器和PID控制器比較起來(lái)可以更加明顯的消除系統(tǒng)的殘余振動(dòng)。SeeringWarrenP。等學(xué)者對(duì)前饋補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)行了深入的研究。安徽銷售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格各支承、連接件的剛性也要有一定的要求,以保證能承受所需要的驅(qū)動(dòng)力。

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可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,檢測(cè)設(shè)備等的晶圓搬運(yùn)。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長(zhǎng): 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP(210mm臂長(zhǎng))

或者3個(gè)FOUP(280mm臂長(zhǎng))雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過(guò)S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式:真空吸附式,下托式,邊緣夾持式,伯努利非接觸式手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

多功能一體化機(jī)械臂,包括機(jī)械臂主體,所述機(jī)械臂主體由設(shè)置在該機(jī)械臂主體底部的底座、設(shè)置在底座頂部的后臂及設(shè)置在后臂頂部的前臂構(gòu)成的,該種多功能一體化機(jī)械臂,改進(jìn)了原有產(chǎn)品的缺點(diǎn),本實(shí)用新型多功能一體化機(jī)械臂具有成本費(fèi)用較低、占地面積較小和驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),本機(jī)械臂*由底座、前臂和后臂構(gòu)成的,實(shí)現(xiàn)了占地面積小的特點(diǎn),且在生產(chǎn)過(guò)程中由于體積較小,廠家生產(chǎn)成本費(fèi)較低,同時(shí)工人在使用時(shí),移動(dòng)較為方便,設(shè)有的安全離合器、液壓器和液壓室,實(shí)現(xiàn)了本新型機(jī)械臂驅(qū)動(dòng)充足的特點(diǎn),在使用過(guò)程中完全依靠程序芯片控制,液壓器液壓精細(xì)不會(huì)單軸機(jī)械手臂作為一個(gè)組件在工業(yè)中應(yīng)用。

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一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,該真空吸附機(jī)械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái);設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道;所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面,所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后,晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記,提高了晶圓的合格率。手臂的運(yùn)動(dòng)速度要適當(dāng),慣性要小.蘇州銷售晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)零售價(jià)

手臂的剛性直接影響到手臂抓取工件時(shí)動(dòng)作的平穩(wěn)性、運(yùn)動(dòng)的速度和定位精度。陽(yáng)江新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家

場(chǎng)景是新技術(shù)應(yīng)用中的重要一環(huán),場(chǎng)景越多意味著應(yīng)用的廣大性和未來(lái)的期望空間越大,而如果一款技術(shù)誕生沒(méi)有實(shí)際的應(yīng)用場(chǎng)景,即無(wú)法融入人們的日常生活和生產(chǎn)制造中,這對(duì)它的后續(xù)發(fā)展影響是致命的。

機(jī)械手臂的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些呢?它的應(yīng)用特點(diǎn)十分明顯,主要代替人工從事場(chǎng)景危險(xiǎn)的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動(dòng)作。如果工作場(chǎng)景符合上述兩個(gè)特點(diǎn),機(jī)械手臂都可以得到應(yīng)用。

機(jī)械手臂應(yīng)用場(chǎng)景多在制造業(yè),有重工業(yè)屬性,如金屬加工、拋光打磨、裝配、機(jī)床上下料、碼垛/搬運(yùn)、橡膠/塑料、分揀等。陽(yáng)江新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂供應(yīng)商家

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四川圣邦微單片機(jī)

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單片 等 75 人贊同該回答

單片機(jī)的基本概念與原理介紹單片機(jī)的定義、工作原理、內(nèi)部結(jié)構(gòu)和基本功能,幫助讀者了解單片機(jī)的基本概念和特點(diǎn)。單片機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域與優(yōu)勢(shì)闡述單片機(jī)在各個(gè)領(lǐng)域中的應(yīng)用,如工業(yè)控制、智能家居、汽車(chē)電子、醫(yī)療設(shè)備等 。

桐廬縣生物金相顯微鏡批發(fā)
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第1樓
工業(yè) 等 52 人贊同該回答

工業(yè)用金相顯微鏡是一種專業(yè)的顯微鏡,普遍應(yīng)用于金屬材料的檢測(cè)、分析和研究。在使用金相顯微鏡進(jìn)行樣品觀察時(shí),照明系統(tǒng)是非常重要的一個(gè)組成部分。照明系統(tǒng)可以提供光源,使樣品在顯微鏡下呈現(xiàn)出清晰的圖像。同時(shí) 。

汕尾熔斷器去哪買(mǎi)
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第2樓
電流 等 55 人贊同該回答

電流熔斷器為什么分陶瓷管和玻璃管?電流熔斷器根據(jù)使用的環(huán)境和要求的不同,有陶瓷管和玻璃管兩種材質(zhì)。陶瓷管電流熔斷器適用于較高電壓、較大電流的電路保護(hù)。它的熔斷材料鎢的熔點(diǎn)很高,在熔斷器短路時(shí)才能被熔斷 。

浙江自滑式非標(biāo)料架廠家
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第3樓
選擇 等 72 人贊同該回答

選擇非標(biāo)料架的材料時(shí),需要考慮以下因素:1. 強(qiáng)度和穩(wěn)定性:材料必須具有足夠的強(qiáng)度和穩(wěn)定性,以承受所需的負(fù)載和壓力。2. 耐腐蝕性:如果材料將暴露在潮濕、酸性或堿性環(huán)境中,它必須具有良好的耐腐蝕性能。 。

虹口區(qū)北汽新能源汽車(chē)維修培訓(xùn)
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第4樓
根據(jù) 等 48 人贊同該回答

根據(jù)混合動(dòng)力驅(qū)動(dòng)的聯(lián)結(jié)方式,一般把混合動(dòng)力汽車(chē)分為三類:串聯(lián)式混合動(dòng)力汽車(chē)SHEV)主要由發(fā)動(dòng)機(jī)、發(fā)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)等三大動(dòng)力總成用串聯(lián)方式組成了HEV的動(dòng)力系統(tǒng)。并聯(lián)式混合動(dòng)力汽車(chē)PHEV)的發(fā)動(dòng)機(jī)和 。

湖北商業(yè)用防腐哪里找
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第5樓
在汽 等 19 人贊同該回答

在汽車(chē)制造中,鋁合金和鋼鐵等材料廣泛應(yīng)用于車(chē)身和發(fā)動(dòng)機(jī)等部件。然而,汽車(chē)在使用過(guò)程中會(huì)受到水分、鹽分、燃油和廢氣等腐蝕性介質(zhì)的影響。為了提高汽車(chē)的耐腐蝕性能,可以采用鍍鋅、涂層和陽(yáng)極氧化等處理方法。在 。

無(wú)錫個(gè)人規(guī)劃咨詢機(jī)構(gòu)
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第6樓
德國(guó) 等 19 人贊同該回答

德國(guó)咨詢業(yè)始于20世紀(jì)50年代,已有各種形式的咨詢機(jī)構(gòu)9680家。進(jìn)入80年代后,西方管理咨詢業(yè)發(fā)生了較變化。管理咨詢方式不斷改進(jìn),咨詢服務(wù)質(zhì)量不斷提高,管理咨詢?nèi)藛T不再提供咨詢建議,而是常常協(xié)助客戶 。

國(guó)際貿(mào)易CIF條款
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第7樓
海運(yùn) 等 49 人贊同該回答

海運(yùn)附加費(fèi)是指:為了保持在一定時(shí)期內(nèi)基本費(fèi)率的穩(wěn)定,又能正確反映出各港的各種貨物的航運(yùn)成本,班輪公司在基本費(fèi)率之外,又規(guī)定了各種費(fèi)用。海運(yùn)附加費(fèi):由貨物特性衍生的附加費(fèi),如超重附加費(fèi)、超長(zhǎng)附加費(fèi)、超大 。

安徽高效組件光伏組件封裝設(shè)備維保
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第8樓
光伏 等 32 人贊同該回答

光伏組件封裝設(shè)備的工藝流程如下:焊接:將光伏電池片通過(guò)互聯(lián)條和匯流條進(jìn)行串聯(lián)和并聯(lián)連接。疊層:將多個(gè)電池片按照一定的排列方式疊放在一起。層壓:將疊層后的電池片組件與鋼化玻璃、EVA膠膜、背板等材料進(jìn)行 。

浙江二通球體報(bào)價(jià)
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第9樓
閥門(mén) 等 19 人贊同該回答

閥門(mén)球體是一種常見(jiàn)的閥門(mén)類型,具有獨(dú)特的設(shè)計(jì)和工作原理。它由一個(gè)球形閥體構(gòu)成,內(nèi)部設(shè)有通道,通過(guò)旋轉(zhuǎn)球體來(lái)控制流體的通斷。以下是關(guān)于閥門(mén)球體的工作原理和應(yīng)用領(lǐng)域的介紹。閥門(mén)球體的工作原理主要是通過(guò)旋轉(zhuǎn) 。

河北熱轉(zhuǎn)印膜生產(chǎn)企業(yè)
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第10樓
說(shuō)說(shuō) 等 19 人贊同該回答

說(shuō)說(shuō)熱轉(zhuǎn)印膜的特性吧,就拿市面上**產(chǎn)品TPU彈性刻字膜來(lái)講,這種熱轉(zhuǎn)印膜手感柔軟,可拉伸而且高遮蓋,關(guān)鍵是易雕刻、易切割、易排廢,經(jīng)過(guò)高溫燙壓還不變形?,F(xiàn)在絕大部分的熱轉(zhuǎn)印膜產(chǎn)品主要是燙印在箱包、服 。

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